Применение
Используется для текстурирования и очистки монокристаллических пластин.
Технические характеристики
- Производительность: 600 штук/партия, 12000 штук/час - 210 силиконовых пластин (100 штук цветочная корзина); 720 пластин/партия, 15 000 пластин/час - 182 кремниевые пластины (120 пластин).
- Объем циркуляции технологического бака регулируется.
- Пирамиды с флокированным покрытием равномерны, глубина травления регулируемая.
- Поддерживает самые тонкие кремниевые пластины толщиной 120 мкм.
- Чистая и сухая зона, самочистящаяся сухая система
- Низкое потребление H2O2
- Быстрая замена жидкости, онлайн замена жидкости
- Поддержка MES, RFID и дополнительной функции онлайн-весов
Технические параметры
|
Модель |
SC-CSZ12000F-16G |
|
Размеры пластины (mm) |
18X / 210 / 230 pJt |
|
Время безотказной работы |
>98% |
|
Уровень поломок |
<0.01% |
|
Размеры (Д*Ш*В) |
26420 (Д) Х 2880 (Ш) Х 2523 (В) |
|
Максимальный подъемный вес |
100kg |
|
Пропускная способность |
330000H1F (182EX) |
|
Время цикла |
2,85 min/carrier (APE, определяется пользователем, регулируется) |
|
Потребляемая мощность |
240 KW+144 KW+144 KW |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SC-CSZ12000F-16G |
По запросу |
JoomShopping Download & Support