Машина для очистки задней панели от коррозии (серия SC)

Области применения: применение карбида кремния и силовых устройств на основе кремния, технологические устройства на основе кремния
150~размер пластины: 300 мм
Применение технологического процесса: процесс обратного прореживания, обратная очистка, очистка листа

Технологический показатель: Однородность травления: ≤5% в стружке; контроль частиц: дополнительная ценность <200.09 микрон

Технические характеристики

• 2-4 полости
• 2-4 Открытые кассеты / Smif / FOUP могут быть сконфигурированы с жидкостью: коррозионная жидкость, SC1, SC2, DHF, DIO3, DICO2, IPA, доступна конфигурация обратного распыления.
• Вспомогательные химические жидкие CCSS, LCSS
• Контроль нагрева, контроль концентрации, контроль расхода, контроль давления и т.д.
• Разделение отработанного воздуха на кислоту, щелочь и органическую жидкость

Поддерживает рекуперацию химических жидкостей

• защиту от перегрева, обнаружение утечек, классификацию и слив
• полностью поддерживает протокол связи SECS / GEM