Электронная стеллажная система E-Rack

Технические характеристики

Применение: предназначена для хранения фотошаблонов (Reticle) с передачей информации в систему
Ключевые слова:

Электронная стеллажная система E-Rack

Категория:

Система автоматической транспортировки кремниевых пластин

Технические параметры

Предназначена для хранения фотошаблонов (Reticle) с передачей информации в систему.

Особенности оборудования:

1. Светодиодный дисплей (LED Display)
   Отображает статус выполнения операций и детальную информацию по каждому фотошаблону.
2. Считыватель RFID
   Определяет занятость ячеек хранения и считывает информацию с фотошаблонов.
3. Продувка XCDA
   Каждая ячейка оснащена патрубком продувки XCDA в верхней части.
• Расход газа на ячейку: 30 NL/мин (при давлении 0.3 МПа).
• Регулировка расхода по уровням: 2–200 л/мин посредством расходомеров с ручными клапанами.
• Возможность управления частотой продувки.
• Оснащена системой сигнализации низкого давления XCDA.
4. Интеграция с системой управления
   E-Rack в реальном времени считывает RFID-метки фотошаблонов и передаёт данные через Ethernet-интерфейс в систему MES для централизованного управления. Обеспечивает мониторинг состояния хранения фотошаблонов в режиме реального времени.