Технические характеристики
Габаритные размеры: Д×Ш×В (мм) = 2500 × 1650 × 2400
Ключевые слова:
Оборудование для очистки футляров фотошаблонов (Auto POD Cleaner)
Категория:
Оборудование для очистки кассет (FOUP)
Технические параметры
|
Параметр |
Описание |
|
Габаритные размеры |
Д×Ш×В (мм) = 2500 × 1650 × 2400 |
|
Вес оборудования |
2000 кг |
|
Особенности оборудования |
Интеграция с системой AMHS, быстрая мойка/сушка, мониторинг температуры и влажности внутри POD |
|
Конструкция оборудования |
Loadport ×1 + Opener ×1 + XCDA Purge ×1 + Clean Chamber ×1 |
|
Тип очистки/травления |
Струйная мойка горячей деионизированной водой (Hot DIW) |
|
Тип сушки и управления |
Сушка продувкой горячим CDA + ИК-сушка |
|
Способ управления |
PC + PLC |
|
Безопасность |
Оснащено защитными устройствами: световые барьеры, блокировки (Interlock), защита от ошибок оператора, детектор утечек, датчик наличия фотошаблона, датчик наличия футляра и др. |
|
Область применения |
Чистые помещения (FAB), производство фотошаблонов |
|
Чистота окружающей среды |
① Высокоэффективный фильтр U17 (99.999995% при 0.12 мкм) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Оборудование для очистки футляров фотошаблонов (Auto POD Cleaner) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support