Полуавтоматический очиститель FOUP

Габаритные размеры

Д×Ш×В (мм) = 2100 × 1500 × 2700 (возможна раздельная поставка, минимальная высота для вноса: 2300 мм)

Вес оборудования

1650 кг

Особенности оборудования

Сухой ввод/вывод, высокая совместимость, гибкая настройка. Ручное размещение изделий и смена оснастки (разные конфигурации для различных продуктов)

Функции очистки

Очистка UPW + очистка горячей UPW + очистка поверхностно-активными веществами (опционально)

Тип очистки

Автоматическая вращательная внутренняя/внешняя струйная очистка, 360° без слепых зон, прямое/обратное вращение, регулируемая скорость

Тип сушки

ИК-сушка + вращательная сушка + продувка CDA/N₂

Управление

ПЛК + сенсорный экран (однокнопочное управление), предустановка рецептов, простота использования (интерфейс SECS/GEM опционально)

Безопасность

Контроль установки оснастки, защита от ошибок, мониторинг вибрации вращательных механизмов, детектирование утечек

Надежность

① Фильтр ULPA ≥99.9995%@(0.1-0.2)um ② Ионная нейтрализация статического электриства ③ Система сканирования штрих-кодов (опционально)

Эксплуатационные параметры

Напряжение: 3-фазное, AC380V, 50Гц
Мощность: макс. 42 кВт
Давление CDA: ≥0.6 МПа
Расход CDA: макс. 460 л/мин
Давление N₂: ≥0.6 МПа
Расход N₂: макс. 1000 л/мин

Модель

Стоимость, доллары США

Полуавтоматический очиститель FOUP

По запросу