Оборудование для очистки реакционных труб эпитаксиальных установок (EPI Cleaner)

Габаритные размеры

Д×Ш×В (мм) = 3600 × 1900 × 2900 (могут изменяться в зависимости от спецификации очистки)

Вес оборудования

2700 кг (может изменяться в зависимости от спецификации очистки)

Особенности оборудования

1. Максимальная нагрузка манипулятора: 25 кг
2. Объекты очистки: неправильные кварцевые изделия макс. размером 750×500×400 мм
3. Конструкция: манипулятор, ванны HN, HF, QDR и другие модули
4. Безопасность: многоуровневый доступ к сливу кислот, подтверждение слива, блокировки дверей, EMO
5. Функции кислотных ванн: автоматическая доливка, автоматические крышки, рециркуляция и фильтрация, отдельные порты отбора проб
6. Полностью автоматизированный процесс, предустановка рецептов, простое управление
7. Опциональный интерфейс SECS/GEM

Конфигурация очистки

Слева - зона электроники, справа - технологическая зона очистки, сверху - подвижный манипулятор, снизу - поворотные ролики и регулируемые опоры

Управление

ПЛК + сенсорный экран (однокнопочное управление), предустановка рецептов, простота использования (опционально SECS/GEM)

Безопасность

Детектирование положения крышек, блокировки дверей, контроль утечек и др.

Применимые материалы

Кварц, карбид кремния

Применимые процессы

Иммерсионная очистка компонентов: кварцевые кольца/лодочки, пластины и др.

Модель

Стоимость, доллары США

Оборудование для очистки реакционных труб эпитаксиальных установок (EPI Cleaner)

По запросу