Многомодульный полуавтоматический аппарат

Особенности оборудования

• Наличие опций сушки: IPA-сушка и спин-сушка
• Возможность предустановки нескольких технологических рецептов (Recipe), простое управление, поддержка многопартионной обработки для повышения производительности
• Разработка различных схем сброса в соответствии с требованиями заводской инфраструктуры
• Разработка различных схем подачи жидкостей в соответствии с требованиями заводской инфраструктуры
• Эффективный контроль перекрестного загрязнения металлами, материалами и микрочастицами
• Модульная конструкция программного и аппаратного обеспечения
• Наличие в ПО и аппаратуре интерфейсов для связи с MES (Manufacturing Execution System)
• Запись производственных данных в реальном времени, наличие функций анализа данных
• Опциональный интерфейс SECS/GEM
• Модульная конструкция с установкой датчиков утечки (Leak Sensor) в соответствии с технологическими требованиями
• Возможность отслеживания данных об обрабатываемых объектах; функции включают: информацию о пройденных этапах, мониторинг состояния, сводку неисправностей, прием производственных заданий

Модель

Стоимость, доллары США

Многомодульный полуавтоматический аппарат

По запросу