Монолитное мокрое оборудование-антикоррозийная очистка задней панели BGBM

Габаритные размеры

Д×Ш×В (мм) = 2870 × 2000 × 2130 (поставляется в разобранном виде, длина может меняться в зависимости от конфигурации)

Вес оборудования

3200 кг

Особенности оборудования

Процесс уменьшения толщины тыльной стороны пластины, бесконтактная система передачи (манипулятор Бернулли и Spin Chuck), стабильный процесс для сверхтонких пластин, поддерживает максимальное коробление до 6 мм, раздельные линии отвода кислотных и щелочных сливов/паров, рециркуляция и повторное использование различных химических растворов, оснащено механизмом переворота пластины, поддерживает индивидуальные заказы.

Конструкция оборудования

LP + EFEM + Модуль процесса + Блок регулирования и основного питания (Зона буферной емкости)

Функция очистки/травления

Травление для уменьшения толщины тыльной стороны пластины, очистка с использованием свойств химических растворов с последующей сушкой за счет вращения (Spin).

Тип очистки/травления

"Сухой вход - сухой выход" (Dry-in/Dry-out)

Способ сушки и управления

Сушка: Spin + Сушилка N2
Управление: PC + PLC

Безопасность

Полный комплект средств защиты: защита от утечек, контроль уровня, обнаружение пластины, защита от ошибок оператора (Fool-proof design) и др.

Надежность

1. Эффективность удаления частиц ≥ 95%.
2. Неравномерность травления < 5%.
3. Фильтрация воздуха через FFU.
4. Система рециркуляционной фильтрации.
5. Удаление статического заряда в EFEM.
6. Полностью автоматическая/ручная система считывания штрих-кода.

Эксплуатационные параметры

Напряжение: 3-фазный, 4-проводный, AC 208В, 50Гц
Мощность: ~18 кВт (зависит от конфигурации)
Давление CDA: 5-7 кг/см²
Расход CDA: 200-600 л/мин
Давление PN2: 5-7 кг/см²
Расход PN2: 50-400 л/мин
Расход вытяжки: ≥ 200 Па

Модель

Стоимость, доллары США

Монолитное мокрое оборудование-антикоррозийная очистка задней панели BGBM

По запросу