Оборудование для очистки деталей из окисленного легированного кварца

Технические характеристики

Очистка осуществляется за счет химического воздействия на кварцевые детали.

Аппарат работает полностью в автоматическом режиме: после загрузки деталей система готовит раствор из чистых химикатов в смесительном резервуаре. Последовательно выполняются различные этапы обработки и промывки, а завершается процесс сушкой с использованием горячей деминерализованной воды (H₂O DI) и горячего азота (N₂), которые производятся непосредственно в установке с помощью специальных нагревателей.

Конфигурация системы может меняться в зависимости от типа кварцевых деталей, которые необходимо очищать, и доступного пространства в чистом помещении. Процесс очистки может быть как вертикальным, так и горизонтальным.

Все оборудование SPM управляется через PLC и сенсорный экран, который контролирует всю систему. Программное обеспечение разрабатывается нашими инженерами и обладает современным интерфейсом с расширенными функциями, такими как:

• Управление рецептами;
• Ведение журнала данных (в реальном времени и архив);
• Прямой контроль P&I (ручное управление клапанами и насосами для обслуживания);
• Интерфейс Host SECS-GEM (опционально).

Все установки производятся в соответствии с нормами безопасности CE.