Полностью автоматическое оборудование для нано-тиснения

Технические характеристики

1. Совместимость с пластинами 8/12 дюймов
   - Оборудование совместимо с подложками 8 и 12 дюймов, обеспечивает простую замену пластин.
2. Модульная конструкция
3. Вся система：
   

      - EFEM (интерфейсный модуль) 

      - Spin coater (центробенный покрыватель) 

      - HP (горячее прессование) 

      - CP (холодное прессование) 

      - NIL (наноимпринтная литография) 

      - Frame loading Unit (загрузки рамок) 

      - Pre-aligner (предварительное выравнивание) 

      - RF-reader (РЧ-считыватель) 

4. Возможность добавления дополнительных субмодулей в соответствии с требованиями к производственной мощности, обеспечивает расширяемость.
5. Высокая точность
6. Минимальная ширина линии импринта: 30 нм
7. Соотношение сторон: до 10:1
8. Отклонение размера от мастер-шаблона: <3%
9. Точность совмещения: ±2 мкм
10. Высокая производственная мощность
11. UPH (единиц в час): 30
12. Обладает excellentной стабильностью
13. Полная автоматизация*
14. В сочетании с интеллектуальным программным обеспечением собственной разработки, все операции выполняются полностью автоматически.
15. Обеспечивает мониторинг в реальном времени с визуализацией ключевых процессов.
16. Высокий класс чистоты
17. Внутренняя среда оборудования соответствует классу чистоты 1
18. Отклонение данных от мастер-шаблона: <3%
19. Межпластинное отклонение размеров: <3%