P12A Пьезосканеры нанопозиционирования (Усиленный привод)

Характеристики

• Диафрагма: 45×45mm
• Ход до 100μm/ось
• Закрытый контур. Версия для высокой воспроизводимости.
• Степень нагрузки до 0.7kg
• Опционально: версия, совместимая со сверхвысоким напряжением
• Опционально: откр./закр. контур

Применение

• Сканирующая микроскопия
• Конфокальная микроскопия
• Измерение поверхности
• Испытание полупроводников

Кривая откр./закр. контур



Кривая зависимости частоты от нагрузки


Время шага при нагрузке


Высокая точность позиционирования датчиков

Пьезосканер хода P12A оснащен датчиком высокого
разрешения, который определяет положение в режиме
реального времени и передает его обратно в
пьезоконтроллер. Контроллер регулирует напряжение для
коррекции смещения с помощью алгоритма PID для
достижения высокоточного позиционирования.
Устройство P12A, совмещенное с модульным контроллером
E70, применяется для визуализации оптической
микроскопии для осуществления точного сканирования по
оси XYZ.


Совместимые пьезоконтроллеры



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P12A.X100S P12A.X100K	P12A.Z100S P12A.Z100K	P12A.XY100S P12A.XY100K	P12A.XZ100S P12A.XZ100K	P12A.XYZ100S P12A.XYZ100K	Ед. изм
Активные оси	X	Z	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Диапазон движ. (0~120V)	80	80	80/ось	80/ось	80/ось	μm±10%
Диапазон движ. (0~150V)	100	100	100/ось	100/ось	100/ось	μm±10%
Встроенный датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	45×45	45×45	45×45	45×45	45×45	mm
Разрешение	3/1	3/1	3/1	3/1	3/1	nm
Линейность	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.04/-	0.04/-	0.05/-	0.05/-	0.1/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращение	<10	<10	<15	<15	<20	μrad
Сила выталкивания/тяги	30/10	30/10	25/8	25/8	20/4	N
Жесткость	0.3	0.3	X0.25/Y0.3	X0.3/Z0.25	X0.3/Y0.25/Z0.2	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	230	200	X170/Y200	X200/Z150	X200/Y150/Z120	Hz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	10/0.8	10/0.8	15/0.8	15/0.8	30/0.8	ms±20%
Степень нагрузки	0.7	0.7	0.6	0.6	0.5	kg
Эл. емкость	3.6	3.6	3.6/ось	3.6/ось	3.6/ось	μF±20%
Материал	Сталь, Алюминий					-
Масса	240	240	290	290	350	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной и
высоконадежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.

Чертежи



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P12A.X200S P12A.X200K	P12A.Z200S P12A.Z200K	P12A.Z400S P12A.Z400K	P12A.Z600S P12A.Z600K	P12A.XY200S P12A.XY200K	P12A.XZ200S P12A.XZ200K	P12A.XYZ200S P12A.XYZ200K	Ед. изм
Активные оси	X	Z	Z	Z	X, Y	X, Z	X, Y, Z	-
Номинальный ход (0~120V)	160	160	320	480	160/ось	160/ось	160/ось	μm±20%
Ход (0~150V)	200	200	400	600	200/ось	200/ось	200/ось	μm±20%
Тип датчика	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	-
Откр. контур	-	-	-	-	-	-	-	-
Разрешение	5.5/2	5.5/2	11/3.5	16/5	5.5/2	5.5/2	5.5/2	nm
Линейность	0.3/-	0.3/-	0.4/-	0.5/-	0.4/-	0.4/-	0.5/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.2/-	0.2/-	0.3/-	0.4/-	0.3/-	0.3/-	0.4/-	%F.S.
Резонансная частота без нагрузки	160	160	130	80	X160/Y140	X160/Z140	X150/Y130/Z90	Hz±20%
Степень нагрузки	0.5	0.5	0.4	0.3	0.4	0.4	0.3	kg±5%
Эл. емкость	7.2	7.2	14.4	21.6	7.2/ось	7.2/ось	7.2/ось	μF±20%
Материал	Сталь, Ал.							-

Примечание: Выше приведены результаты измерений с использованием пьезоконтроллеров E00/E01. Максимальное напряжение
может составлять -20V~150V. Рекомендуемое напряжение 0~120V для высокой надежности и длительного использования.

Чертежи