XD731 серия XYZ Пьезо ступень разработана для
работы в вакууме и имеет совместимость с вакуумом
до 10E-7mbar.
Характеристики
Применение
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и высоконадежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
работы в вакууме и имеет совместимость с вакуумом
до 10E-7mbar.
Характеристики
- Совместимость с вакуумом
- Очень компактный
- Дополнительный датчик обратной связи
- XYZ движение
Применение
- Нано-позиционирование
- XYZ быстрое сканирование в вакууме
- Биотехнология
- Квантовое измерение
| Тип | XD731.XYZ100S | XD731.XYZ100K | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | X, Y, Z | X, Y, Z | |
| Управляющие каналы | 4 | 4 | |
| Номинальный ход(0~120V) | 80/ось | 80/ось | μm±10% |
| Диапазон движения(0~150V) | 100/ось | 100/ось | μm±10% |
| Тип сенсора | SGS | - | |
| Разрешение | 3 | 1 | nm |
| Линейность | 0.07 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.03 | - | %F.S. |
| Наклон/Отклонение/Вращение | ≤35 | ≤35 | μrad |
| Сила выталкивания/тяги | 50/15 | 50/15 | N |
| Жесткость в направлении движения | 1.5/1.5/0.9 | 1.5/1.5/0.9 | N/μm±20% |
| Резонансная частота без нагрузки | 350 | 350 | Hz±20% |
| Резонансная частота @300g | 170 | 170 | Hz±20% |
| Время шага без нагрузки | 20 | <20 | ms±20% |
| Время шага @300g | 30 | - | ms±20% |
| Степень нагрузки | 0.5 | 0.5 | kg |
| Эл. емкость | 7.2/ось | 7.2/ось | μF±20% |
| Материал | Сталь, алюминий | Сталь, алюминий | |
| Масса | 680 | 680 | g±5% |
| Совместимость с вакуумом | 10E-7 | 10E-7 | mbar |
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и высоконадежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
JoomShopping Download & Support