P13 Ступень пьезо нанопозиционирования (Усиленный привод)

P13 - ступень нанопозиционирования по осям XY или XYZ.
Он использует параллельный кинематический механизм
со встроенным высокопроизводительным пьезоприводом
со смещением 43 мкм/ось. Доступна версия с открытым
или закрытым контуром

Характеристики

• 2~3 Оси
• Небольшой размер
• Доступна вакуумная версия.
• Макс. ход до 43μm
• Быстрое время отклика
• Варианты с открытым/ закрытым контуром

Применение

• 2D/3D сканирование
• Полупроводник
• AFM
• Регулировка оптического пути
• Микроманипуляции
• Нанопозиционирование

Ультра-малый размер, Высокое разрешение

Он обладает очень высоким разрешением и хорошей
линейностью движения.
P13 совместим с другими системами позиционирования.
Также может быть оснащен датчиком для устранения
гистерезиса и ползучести пьезокерамики. Пьезоэлемент P13
идеально подходит для динамических работ и
сканирования.

2~3 Осевой

P13 Ступень пьезо нанопозиционирования выпускается в
двух вариантах. Исполнение XY осевой и XYZ осевой.


Время стабилизации при закрытом контуре

Время установки закрытого контура версии P13.XY при
полном ходе составляет около 30 мс.



P13.XY50Z7


Кривая зависимости частоты от нагрузки ( P13.XY/XYZ)

Рекомендуемые контроллеры


Технические характеристики