Ликвидированная система высокочистого озона

Технические характеристики

Особенности:

• Полностью металлическая герметичная камера конденсации озона;
• Отсутствие силиконовых адсорбентов;
• Автоматический температурный контроль с закрытым циклом охлаждения;
• Быстрая очистка: подготовка занимает всего 30 минут; за час очистки производится около 4 стандартных литров высокочистого озона, что удовлетворяет потребность большинства пользователей на более чем 10 часов работы;
• Компактный дизайн, размеры 4007001200 мм (высота);
• Простая эксплуатация: включение и остановка без задержек;
• Области применения высокочистого озона включают Химическое парофазное осаждение (CVD), атомно-слойное осаждение (ALD), выращивание оксидов, обработку поверхности, очистку частиц, удаление фоторезиста, пассивацию и др.