XP-780 Пьезосканер (Усиленный привод)

XP-780 Пьезоэлектрический сканер оснащен механизмом
усиления, гибкой конструкцией шарнира и высоконадежным
пьезоприводом для произведения смещения оси X до 200
мкм. Может иметь конфигурацию закрытого контура.
Оснащен датчиком для высокоточного сканирования и
позиционирования. Размер диафрагмы составляет 25 мм ×
25 мм. Способен осуществлять движение по 2 или 3 осям.

Характеристики

• Макс. нагрузка до 5kg
• Доступная версия UHV
• Макс. ход до 200μm
• Диафрагма: 25×25mm
• Опционально: откр./закр. контур
• Закрытый контур (высокая точность воспроизведения).

1~3 оси

Линейка включает XP-780 X, XY, XZ, XYZ



Применение

• SPM
• Биотехнологии 
• Помехи
• Измерение
• Анализ структуры поверхности

Кривая открытого контура


Кривая зависимости частоты от нагрузки




Большой шаг, Большая степень нагрузки Рекомендуемые контроллеры

XP-780 использует механизм усиления, который может
реализовать ход до 200 мкм. Гибкий направляющий
механизм обеспечивает высокое разрешение без трения.
Диафрагма делает его пригодным для таких применений, как
оптическое микросканирование. Превосходная конструкция
имеет высокую жесткость, большую степень нагрузки и может
выдерживать нагрузку 5 кг для точного позиционирования.

Пример использования

Интерферометр Майкельсона

Технические характеристики

Тип	XP-780.XS	XP-780.XK	Ед. изм
Активные оси	X	X	-
Диапазон движения (0~120V)	160	160	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	200	200	μm±10%
Датчик	SGS	-	-
Диафрагма	25×25	25×25	mm
Замк./разомк. контур. Разр-е	5.5	2	nm
Закрытый контур. Линейность	0.1	-	%F.S.
Воспроизводимость	0.05	-	%F.S.
Наклон/Отклонение/Вращение	<50	<50	μrad
Сила выталкивания/тяги	80/40	80/40	N
Жесткость	0.5	0.5	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	200	200	Hz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	20	5	ms±20%
Степень нагрузки	5	5	kg
Эл. емкость	11	11	μF±20%
Материал	Алюминий	Алюминий	-
Масса	240	240	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение может составлять -20М ~ 150V,
рекомендуемое напряжение 0 ~ 120V для длительной и высоконадежной работы.
Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.

Чертежи



Рекомендуемые контроллеры