P78A.Z200 Пьезосканеры перемещается по оси Z. Ход
составляет до 200 мкм. Прибор имеет диаметр 25 мм.
Диафрагма подходит для применения с пропусканием
света.
Характеристики
Примечание: Максимальное напряжение может составлять -20V ~ 150V рекомендуемое напряжение 0 ~ 120V для
длительной и высоконадежной работы. Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
составляет до 200 мкм. Прибор имеет диаметр 25 мм.
Диафрагма подходит для применения с пропусканием
света.
Характеристики
- Z движение, перемещение до 200μm
- Опционально: дополнительный вертикальный, боковой, перевернутый монтаж
- Доступна вакуумная версия
- Осмотр поверхности
- Микроскопическое изображение
- Обнаружение помех
- Обработка и тестирование полупроводников
- Вакуумная среда
| Тип | P78A.Z200S | P78A.Z200K | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | Z | Z | - |
| Датчик | SGS | - | - |
| Диапазон движения (0~120V) | 160 | 160 | μm±10% |
| Диапазон движения (0~150V) | 200 | 200 | μm±10% |
| Разрешение | 10 | 3 | nm |
| Линейность | 0.2 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.15 | - | %F.S. |
| Степень нагрузки | Верт. 0.2, Латерал. 0.02, Перевер. 2 | В 0е.2р,т .Латерал. 0.02, Перевер. 2 | kg±5% |
| Масса | 260 | 260 | g±5% |
| Эл. емкость | 28.8 | 28.8 | μF±20% |
| Материал | Сталь, Алюминий | - | |
Примечание: Максимальное напряжение может составлять -20V ~ 150V рекомендуемое напряжение 0 ~ 120V для
длительной и высоконадежной работы. Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
JoomShopping Download & Support