P78.Z200/300 Пьезо Z Сканер микроскопа

P78 Пьезоэлектрический сканер идеально подходит для таких
применений, как выравнивание и измерение. Данная конфигурация
обеспечивает стабильность позиционирования в нанометровом
диапазоне и прекрасно справляется с поставленными задачами.

Характеристики

• Z движение
• Диапазон движения до 187.5/262.5μm
• Разрешение до 1.5nm
• Диафрагма: 64×64mm
• Доступна версия UHV

Кривая зависимости частоты от нагрузки



Большая плащадь, Высокое разрешение

P78 использует механизм усиления для реализации хода
187,5/262,5 μm. Гибкий шарнирный направляющий механизм
оптимизирован с помощью FEA для достижения
нанометрового разрешения и миллисекундного времени
отклика. Размер диафрагмы в центре составляет 64×64 мм,
что прекрасно подходит для таких работ, как интерференция
и контроль поверхности.

Технические характеристики

Тип S-Закр.контур K-Откр. контур	P78.Z200S P78.Z200K	P78.Z300S P78.Z300K	Ед. изм
Активные оси	Z	Z
Диап. перем. (0~120V)	150	210	μm±10%
Диап. перем. (0~150V)	187.5	262.5	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	64×64	64×64	mm
Разрешение	5/1.5	7/2.5	nm
Линейность	0.1/-	0.15/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.05/-	0.1/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращ-е	<20	<30	μrad
Сила выталкивания/тяги	50/8	30/5	N
Жесткость	0.35	0.15	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	270	200	Hz±20%
Время шага без нагруз.	15/3.2	50/6.4	ms
Степень нагрузки	1	0.5	kg
Эл. емкость	14.4	14.4	μF±20%
Рабочая температура	-20~80	-20~80	°C
Материал	Алюминий	Алюминий
Масса	340	340	g±5%
Длина кабеля	1.5	1.5	m±10mm
Коннектор	LEMO	LEMO

Примечание: Вышеуказанные параметры измеряются с
помощью пьезоконтроллера серии E00/E01. Максимальное
напряжение может составлять -20V ~ 150V; Для обеспечения
высокой надежности и длительного использования
рекомендуемое напряжение составляет 0 ~ 12V.

Чертежи



Рекомендуемые контроллеры