P77 Пьезофазовращатели (Прямой привод)

Пьезофазовращатели P77 специально разработаны
для оптического обнаружения и фазового сдвига, с
диапазоном перемещения до 50 μm и степенью
нагрузки до 25 kg, что очень подходит для оптического
контрольного оборудования с большой диафрагмой.
Таких как лазерный интерферометр для различных
типов объективов. Возможны версии на заказ.

Характеристики

• Диапазон движения: 0~50μm
• Диафрагма: Ø36~310mm
• Степень нагрузки до 25kg
• Доступна вакуумная версия
• Опционально: Вертикальная, Латеральная, Перевернутая установка

Применение

• Осмотр поверхности
• Оптический захват
• Микроскопические изображения
• Точное позиционирование
• Оптические помехи / измерение
• Фазовращатель

40nm Шаг (P77.K36)



Примеры применения

① : P77.S106 применяется для малого интерферометра.

② : P77.K36 применяется к интерферометру Майкельсона для оптического фазовращателя.



P77 серия



Технические характеристики

Тип	P77.S242 P77.K242	P77.30S140 P77.30K140	P77.S310 P77.K310	P77.S154 P77.K154	P77.S106 P77.K106	P77.S106A P77.K106A	Ед. изм
Активные оси	Z	Z	Z	Z	Z	Z
Диапазон движения (0~120V)	14	12.8/25.6	13.5	16	14	14	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	17.5	16/32	17	20	17.5	17.5	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	Φ242	Φ140	Φ310	Φ155	Φ106	Φ106	mm
Разрешение	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	nm
Наклон/Отклонение/Вращение	<15	<15	-	<10	<10	<10	μrad
Сила выталкивания/тяги	100/20	80/15	100/20	50/30	100/20	100/20	N
Резонанс. частота без нагрузки	3090	200	1500	1300	300	150	Hz±20%
Время шага без нагрузки	20	14/7	-	3.5/2	5/2.5	3.5	ms±20%
Вертикальная степень нагрузки	15	-	12	25	15	10	kg
Латеральная степень нагрузки	1	5	12	20	5	5	kg
Перевернутая степень нагрузки	10	-	12	20	10	5	kg
Эл. емкость	5.4	14.4/28.8	10.8	14.4	5.4	7.2	μF±20%
Материал	Ал. сталь
Масса (г)	3800 (не включая кабель)	4200	4200	3020	1600	1900 (не включая кабель)	g±5%
Рабочая температура	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	°C
Разъем	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO
Длина кабеля	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	m±10mm

Тип	P77.S36 P77.K36	P77.S160 P77.K160	P77.S160A P77.K160A	P77.S210 P77.K210	P77.50S85 P77.50K85	Ед. изм
Активные оси	Z	Z	Z	Z	Z
Диапазон движения (0~120V)	14	14	14	14	40	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	17.5	17.5	17.5	17.5	50	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	Φ36	Φ160	Φ160	Φ210	Φ85	mm
Разрешение	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	0.5/0.2	1.5/0.4	nm
Наклон/Отклонение/Вращение	<10	<10	<10	<10	-	μrad
Сила выталкивания/тяги	100/20	100/20	100/20	100/20	-	N
Резонансная частота без нагрузки	300	140	120	100	1100	Hz±20%
Время шага без нагрузки	2	2.5	3.5	2.5	15@10μm	ms±20%
Вертикальная степень нагрузки	7	10	10	10	3	kg
Латеральная степень нагрузки	1	5	5	5	-	kg
Перевернутая степень нагрузки	5	5	2	5	-	kg
Эл. емкость	3.6	5.4	7.2	5.4	7.2	μF±20%
Материал	Алюминий, Сталь
Масса (г)	565 (не включая кабель)	2400	2900	2890 (не включая кабель)	2100	g±5%
Рабочая температура	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	°C
Разъем	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO
Длина кабеля	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	m±10mm

Примечание: Линейность закрытого контура P77 S106: 0,2% F.S., точность повторяющегося позиционирования закрытого
контура: 0,1% F.S., жесткость направления движения: 8N/μm. Вышеуказанные параметры измеряются пьезоэлектрическим
контроллером серии E00 / E01. Максимальное напряжение может составлять - 20V ~ 150V; Для высоконадежного длительного
использования управляющее напряжение рекомендуется составлять 0 ~ 120V.

Чертежи