P15.XY100S/K-B1 Ступень пьезо нанопозиционирования
перемещается по оси XY, имеет ход 100 мкм/ось и очень
низкий профиль, для высокой точности имеется датчик
SGS. На него может быть установлена вакуумное
крепление.
Характеристики
Линейность
Технические характеристики
Примечание: Выше приведены результаты измерений с
использованием пьезоконтроллеров E00/E01. Максимальное
управляющее напряжение может составлять -20V~150V;
рекомендуемое напряжение 0~120V для высокой надежности и
длительного использования.
Чертежи
перемещается по оси XY, имеет ход 100 мкм/ось и очень
низкий профиль, для высокой точности имеется датчик
SGS. На него может быть установлена вакуумное
крепление.
Характеристики
- XY движение
- Ход до 100μm/Оси
- Степень нагрузки до 500g
- Низкопрофильное оборудование
- Опциональный датчик
- Обработка и тестирование полупроводников
- Осмотр поверхности
- Лазерная технология
- Микроскопическое изображение
Линейность
Технические характеристики
| Тип | P15.XY100S-B1 | P15.XY100K-B1 | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | X, Y | X, Y | - |
| Номинальный ход (0~120V) | 80/ось | 80/ось | μm±10% |
| Ход (0~150V) | 100/ось | 100/ось | μm±10% |
| Тип датчика | SGS | - | - |
| Разрешение | 3 | 1 | nm |
| Линейность | 0.15 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.05 | - | %F.S. |
| Наклон/Откл-е/Вращ-е | ≤10 | ≤10 | μrad |
| Резонансная частота без нагрузки | 490 | 490 | Hz±20% |
| Время шага без нагрузки | 50 | 20 | ms±20% |
| Степень нагрузки | 500 | 500 | g |
| Эл. емкость | 14.5 | 14.5 | μF±10% |
| Материал | Al | Al | - |
| Масса | 730 | 730 | g±5% |
| Длина кабеля | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
Примечание: Выше приведены результаты измерений с
использованием пьезоконтроллеров E00/E01. Максимальное
управляющее напряжение может составлять -20V~150V;
рекомендуемое напряжение 0~120V для высокой надежности и
длительного использования.
Чертежи
JoomShopping Download & Support