Характеристики
Чертежи
- Перемещение на 1 мм по Z
- Разрешение до 8nm
- Доступно вакуумное исполнение
- Степень нагрузки до 700g
- Емкостной датчик закрытого контура
| Тип | 20059 | Ед. изм |
|---|---|---|
| Активные оси | Z | |
| Диап. движ.(0~120V) | 800 | μm±20% |
| Диап. движ.(0~150V) | 1000 | μm±20% |
| Датчик | CAP емкость | |
| Закрытый контур. Разрешение | 27 | nm(Под 5mV) |
| Разрешение откр. контур | 8 | nm |
| Линейность | 0.1 | %F.S.±20% |
| Воспроизводимость | 0.02 | %F.S.±20% |
| Степень нагрузки | 700 | g |
| Эл. емкость | 58 | μF±20% |
Чертежи
JoomShopping Download & Support