P66 Ступень нанопозиционирования (Прямой привод)

P66 - это нанопозиционирующий элемент движения по 1~3 осям с
использованием механизма прямого привода. Система
нанопозиционирования, сочетающая пьезо и гибкие шарниры,
дополнительные высокоточные датчики для управления в закрытом контуре и
способная достигать миллисекундного времени отклика, суб-нано точности.
Она идеально подходит для таких случаев позиционирования, как коррекция
длины оптического пути в интерференции, позиционирование образца в
микроскопии или сканировании и т.д.

Характеристики

• Опционально перемещение 30μm/60μm
• Откр./закр. контур
• Доступна версия UHV
• Нагрузка до 8kg
• Воспроизводимость до 12nm

P66 линейка включает в себя: P66.X(X оси), P66.Z(Z оси),
P66.XY(XY оси), P66.XZ(XZ оси), P66.XYZ(XYZ оси).

Вариант с открытым/закрытым контуром

P66 может быть с открытым или закрытый контуром.
Версия с закрытым контуром оснащена высоко-
разрешающим и быстро реагирующим датчиком
деформации (SGS). Датчик выдает сигналы напряжения с
высокой пропускной способностью и высокой точностью.
В датчике используется конфигурация устранения
теплового дрейфа, что позволяет достичь высокой
линейности и воспроизводимости нопозиционирования.

Применение

• Обнаружение помех / сканирование
• Замеры
• Микрообработка / прецизионное управление
• Тестирование CD дисков

Кривая зависимости частоты от нагрузки



Коннекторы

Стандартными разъемами для управления и считывания
являются разъемы LEMO, которые могут быть настроены в
соответствии с типом интерфейса пьезоконтроллера.


Пример использования-AFM

P66.XY широко применяется в АСМ, благодаря своей
высокой частоте отклика, точности и надежности.



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P66.X30S P66.X30K	P66.X60S P66.X60K	P66.Z30S P66.Z30K	P66.XY30S P66.XY30K	P66.XY60S P66.XY60K	P66.XZ30S P66.XZ30K	P66.XYZ30S P66.XYZ30K	Ед. изм
Активные оси	X	X	Z	X, Y	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Диапазон движения (0~120V)	24	48	24	24/ось	48/ось	24/ось	24/ось	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	30	60	30	30/ось	60/ось	30/ось	30/ось	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Замк./разомк. контур. Разрешение	1/0.5	2/0.5	1/0.5	1/0.5	2/0.5	1/0.5	1/0.5	nm
Закрытый контур. Линейность	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.05/-	0.05/-	0.05/-	0.08/-	0.1/-	0.08/-	0.1/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращение	<15	<20	<15	<15	<20	<15	<15	μrad
Сила выталкивания/тяги	120/15	160/16	30/10	100/15	120/12	30/10	30/10	N
Жесткость в направлении движения	4.4	2.8	1.1	3.3	2.1	1.1	1.1	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	5	2.8	1.4	X0.9/Y1.6	X0.9/Y1.2	X1.5/Z0.8	X0.6/Y0.7/Z1.2	kHz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	5/0.8	10/1.6	15/1	8/0.8	20/1.6	20/1	30/1	ms±20%
Закрытый контур. Рабочая частота (-3dB)	600	500	-	-	-	-	100	Hz±20%
Степень нагрузки	8	6	1	5	4	1	1	kg
Эл. емкость	3.6	7.2	3.6	3.6/ось	7.2/ось	3.6/ось	3.6/ось	μF±20%
Материал	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий
Масса	120	190	200	260	450	320	460	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной, высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии
E00/E01.

Чертежи