P11 Ступень нанопозиционирования (Усиленный привод)

P11 представляет собой пьезо-нанопозиционную ступень
небольшого размера, с 1~3 осями. Оснащен гибким
шарнирным направляющим механизмом без трения и
механизмом усиленного привода, обеспечивающим
смещение на 100 мкм. Версия с закрытым контуром
позволяет достичь точности позиционирования вплоть до
наномасштабов. Обладает превосходной точностью
управления. Высокое разрешение и стабильность могут
достигать нанометрового уровня, время стабилизации
составляет всего миллисекунды. Ступень изготовлена из
немагнитного материала и не подвержена влиянию
магнитного поля при работе.

Характеристики

• 1~3 Оси перемещения
• XYZ Ход до 300μm/оси
• Небольшой размер
• Быстрый отклик
• Доступна вакуумная версия

P11 включает в себя версии X, Z, XY, XZ, XYZ. Можно
достичь точного перемещения в 100 мкм.

Применение

• Нанопозиционирование
• Биотехнологии
• Проверка качества
• Микрообработка / прецизионное управление

AFM

Кривая зависимости частоты от нагрузки



Быстрое время отклика, Большой ход

P11 использует усиленный механизм и встроенный
высоконадежный пьезопривод, который может реализовать
точное движение 100μm. Существуют версии с открытым и
закрытым контуром. Версия с закрытым контуром включает в
себя высокоточные датчики для определения и обратной
связи с положением в режиме реального времени. Пьезо-
сервоконтроллеры E00/E01, E52/E53 идеально подходят для
управления PZT. P11 имеет очень быстрое время отклика, а
время шага может достигать 0,8ms при использовании
пьезоконтроллера E52.

Рекомендуемые контроллеры



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P11.X100S P11.X100K	P11.Z100S P11.Z100K	P11.Z300S P11.Z300K	P11.XY100S P11.XY100K	P11.XZ100S P11.XZ100K	P11.XYZ100S P11.XYZ100K	Ед. изм.
Активные оси	X	Z	Z	X Y	X Z	X Y Z
Диапазон движения(0~120V)	80	80	240	80/ось	80/ось	80/ось	μm±10%
Диапазон движения(0~150V)	100	100	300	100/ось	100/ось	100/ось	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	-
Открытый/закрытый контур.	-	-	-	-	-	-	-
Разрешение	3/1	3/1	8/2.5	3/1	3/1	3/1	nm
Линейность	0.05/-	0.05/-	0.5/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.02/-	0.02/-	0.12/-	0.03/-	0.03/-	0.05/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращение	<10	<10	<10	<10	<10	<10	μrad
Сила выталкивания/тяги	30/10	30/10	50/4	25/10	25/10	30/5	N
Жесткость	0.3	0.3	0.25 X0.25/Y0.3	X0.25/Z0.3	X0.25/Y0.3/Z0.2	N/μm±20%	-
Резонансная частота без нагрузки	0.3	0.7	0.12 X0.2/Y0.3	X0.2/Z0.3	X0.2/Y0.3/Z0.18	kHz±20%	-
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	10/0.8	10/0.8	10/0.8	15/0.8	15/0.8	20/0.8	ms±20%
Рабочая частота закрытого контура(-3dB)	70 (@100g загр.)	50 (@100g загр.)	-	50 (без загр.)	-	-	Hz±20%
Степень нагрузки	0.8	0.8	0.4	0.7	0.7	0.6	kg
Эл. емкость	1.8	1.8	5.4	1.8/ось	1.8/ось	1.8/ось	μF±20%
Материал	Сталь, Алюминий
Масса	100	100	185	170	170	230	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
длительной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.

Чертежи