Мишень для распыления Zr (цирконий)

Цирконий — серебристо‑серый переходный металл с атомным номером 40, атомной массой 91,224, температурой плавления 1852 °C, температурой кипения 4377 °C и плотностью 6,49 г/см³. Цирконий отличается высокой прочностью, пластичностью, ковкостью, выдающейся коррозионной и термостойкостью. При повышенных температурах мелкодисперсный металлический порошок способен самовоспламеняться на воздухе. Он не растворяется в кислотах и щелочах. Цирконий используется в форме оксида, или диоксида циркония. Оксид циркония обладает низкой теплопроводностью и высокой температурой плавления.
Цирконий способен поглощать большое количество кислорода (O₂), азота (N₂), водорода (H₂), поэтому может служить подходящим геттерным материалом. Цирконий также применяют в ядерных реакторах для изготовления оболочки — внешнего покрытия цилиндрических топливных стержней, обеспечивающих ядерную реакцию. Нити из циркония могут быть перспективным материалом для ламп‑вспышек. Трубы из циркония обычно используют в качестве коррозионно‑стойких ёмкостей и труб, особенно для работы с соляной и серной кислотами.
Мишень для распыления из циркония широко применяется в нанесении тонких плёнок, топливных элементах, декоративных целях, полупроводниках, плоских дисплеях, светодиодах, оптических устройствах, производстве автомобильного стекла и в телекоммуникационной промышленности.