Основные технические характеристики Napson RG-2000
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
RG-2000 |
|
Тип |
Настольный измеритель листового сопротивления |
|
Диаметр образцов |
От малых фрагментов до пластин диаметром 200 мм |
|
Метод измерения |
4-зондовый (4-point probe) |
|
Диапазон измеряемого сопротивления |
10 мОм/□ – 10 МОм/□ (зависит от конфигурации зондовой головки) |
|
Точность измерения |
±0.5% (в зависимости от диапазона) |
|
Воспроизводимость |
≤ ±0.2% |
|
Система загрузки |
Ручная загрузка образца |
|
Дисплей |
Встроенный ЖК-дисплей для отображения результатов |
|
Управление |
Встроенный микроконтроллер с кнопочным управлением; опционально подключение к ПК через RS-232C или USB |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 0.3 × 0.4 × 0.2 м |
|
Масса |
Примерно 5–10 кг |
|
Напряжение питания |
100–240 В, 1 фаза, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 0.1 кВт |
Ключевые особенности
- 4-зондовый метод измерения
Используется стандартный четырехзондовый метод, который позволяет точно измерять листовое сопротивление без влияния контактного сопротивления между зондами и образцом.
- Широкий диапазон измерений
Системы поддерживают измерение от очень низких сопротивлений (единицы мОм/□) до высокоомных слоев (десятки МОм/□) благодаря сменным зондовым головкам.
- Автоматическое картографирование (RT-3000)
RT-3000 позволяет автоматически строить карты распределения листового сопротивления по всей поверхности пластины, что критически важно для контроля однородности процессов осаждения, легирования и отжига.
- Высокая точность и воспроизводимость
Прецизионная механика и качественные зондовые головки обеспечивают высокую точность и отличную повторяемость измерений.
Производство: Япония
JoomShopping Download & Support