Мишень для распыления сплава циркония и кремния (ZrSi), высокочистное тонкоплёночное PVD покрытие

Мишень для распыления циркония и кремния изготавливается методом вакуумной плавки и порошковой металлургии.
Присутствие циркония позволяет повысить твёрдость и коррозионную стойкость.
Мишень из циркония и кремния отличается низкой электропроводностью и способна снижать остаточные напряжения, что повышает стабильность покрытий и продлевает срок их службы. Покрытия могут наноситься на низкоэмиссионное (Low‑E) стекло благодаря высокой однородности и коррозионной стойкости.
По сравнению с чистым кремнием высокочистные мишени для распыления циркония и кремния способны значительно — в 4–6 раз — повысить износостойкость наносимого покрытия.
Таким образом, сплав Zr‑Si подходит для множества практических применений.