Мишень для распыления сплава TiZr (титан цирконий), высокочистное тонкоплёночное PVD покрытие

Мишень для распыления титана и циркония изготавливается путём смешивания титана и циркония в необходимом количестве. Добавление элемента Zr в титановую основу позволяет снизить линейную усадку и улучшить механические свойства.
Сплав титана и циркония (TiZr) широко используется в качестве биоматериала для ортопедических и стоматологических имплантатов — прежде всего благодаря способности напрямую интегрироваться в костную ткань и превосходной коррозионной стойкости.
Титан — блестящий переходный металл серебристого цвета, с низкой плотностью и высокой прочностью. Титан устойчив к коррозии в морской воде, царской водке и хлоре. Мишень для распыления титана используется в производстве CD‑ROM, для декоративных целей, плоских дисплеев, функциональных покрытий, а также в индустрии оптических носителей информации, в индустрии покрытий для стекла (в т. ч. для автомобильного и архитектурного стекла), в оптической связи и т. д.
Цирконий — химический элемент с символом Zr и атомным номером 40. Это блестящий серо‑белый прочный переходный металл, по свойствам близкий к гафнию и (в меньшей степени) к титану. Цирконий в основном используется как тугоплавкий материал и заглушитель (опакификатор), хотя небольшие количества применяются в качестве легирующей добавки — благодаря высокой коррозионной стойкости. Цирконий образует множество неорганических и металлоорганических соединений, например диоксид циркония и дихлорид циркоцена соответственно.