Мишень для распыления NiV (никель ванадий), высокочистное тонкоплёночное PVD покрытие

Золото часто используют при нанесении слоёв интегральных схем, но при соединении золота с кремнием нередко образуется легкоплавкое соединение AuSi, из‑за чего возникает ослабление связи между разными слоями. Чистый никель — хороший вариант для адгезионного слоя, однако между никелевым и золотым слоями также требуется барьерный слой для предотвращения диффузии. Ванадий идеально подходит для этой задачи благодаря высокой температуре плавления и способности выдерживать высокую плотность тока.
Таким образом, никель, ванадий и золото — три материала, обычно используемых в индустрии интегральных схем. Мишень для распыления никель‑ванадия изготавливают путём добавления ванадия в расплавленный никель. Благодаря низкому уровню ферромагнетизма она хорошо подходит для магнетронного распыления в производстве электронных изделий — это позволяет за один цикл сформировать никелевый и ванадиевый слои.
Мишень для распыления никель‑ванадия имеет чёткую внешнюю маркировку и этикетки — это обеспечивает эффективную идентификацию и контроль качества. Мы принимаем все меры, чтобы избежать любых повреждений, которые могут возникнуть при хранении или транспортировке.
Мишени для распыления никель‑ванадия отличаются сверхвысокой чистотой и однородностью. Они доступны в различных формах, степенях чистоты, размерах и по разным ценам.

Содержание примесей в сплаве Ni‑7V мас. %: