Мишень для распыления сплава CrAlSi (хром алюминий кремний), высокочистное тонкоплёночное PVD покрытие

Изготовление мишеней для распыления хром‑алюминий‑кремния включает следующие этапы:

1. Вакуумная плавка кремния, алюминия и хрома для получения промежуточных сплавов.
2. Измельчение и смешивание порошка.
3. Обработка горячим изостатическим прессованием для получения мишени для распыления из хром‑алюминий‑кремниевого сплава.

Мишени для распыления хром‑алюминий‑кремния широко применяются в производстве режущих инструментов и пресс‑форм благодаря их износостойкости и стойкости к высокотемпературному окислению, что позволяет улучшить характеристики напыляемой плёнки.
В процессе физического осаждения из паровой фазы (PVD) с использованием мишеней CrAlSi образуется аморфная фаза Si3​N4​. Благодаря включению аморфной фазы Si3​N4​ сдерживается рост размера зёрен, что улучшает стойкость к высокотемпературному окислению.
Мишени для распыления хром‑алюминий‑кремния имеют чёткую маркировку снаружи — это обеспечивает удобную идентификацию и контроль качества. Мы принимаем все меры, чтобы избежать любых повреждений, которые могут возникнуть при хранении или транспортировке.
Мишени для распыления хром‑алюминий‑кремния отличаются сверхвысокой чистотой и однородностью. Они доступны в различных формах, степенях чистоты, размерах и по разным ценам.