Мишень для распыления сплава CrSi (хром кремний), высокочистное тонкоплёночное PVD покрытие

Изготовление мишеней для распыления хром‑кремния включает следующие этапы:

1. Вакуумная плавка кремния и хрома для получения промежуточных сплавов.
2. Измельчение порошка, упаковка и вакуумирование.
3. Обработка горячим изостатическим прессованием для получения полуфабрикатов.
4. Механическая обработка черновой заготовки из хром‑кремниевого сплава для получения готовой мишени для распыления из хром‑кремниевого сплава.

Сплав CrSi часто используется в качестве материала для высокоомных плёнок. Он отличается высоким сопротивлением, стабильностью и низким температурным коэффициентом сопротивления. Хром и кремний могут образовывать множество силицидных фаз, таких как Cr3​Si, Cr5​Si3​, CrSi, CrSi2​. Процесс производства, состав и режим термообработки плёнки CrSi существенно влияют на её эксплуатационные характеристики.