Мишени изготавливаются путём смешивания порошков алюминия и тантала либо методом вакуумной плавки с последующим уплотнением до полной плотности. Уплотнённые таким образом материалы при необходимости спекаются, а затем формируются в мишень требуемой формы.
Мишень для распыления алюминий‑тантал отличается высокой чистотой, однородной микроструктурой и отличной электропроводностью. Широко используется при формировании тонких плёнок в производстве плоскопанельных дисплеев. Алюминий‑тантал также может добавляться при производстве высокопроизводительных титановых сплавов для улучшения их пригодности при высоких температурах.
Содержание примесей в сплаве Al‑Ta:
|
Состав |
Содержание (%) |
||||
|
|
Ta |
Fe |
Si |
C |
O |
|
AlTa60 |
55,0–65,0 |
≤ 0,05 |
≤ 0,02 |
≤ 0,01 |
≤ 0,05 |
|
AlTa70 |
65,0–75,0 |
≤ 0,05 |
≤ 0,02 |
≤ 0,01 |
≤ 0,05 |
|
Параметр |
Значение |
|
Категория |
Мишень для распыления сплава |
|
Химическая формула |
AlTa |
|
Состав |
Алюминий‑тантал |
|
Чистота |
99,9 %, 99,95 %, 99,99 % |
|
Форма |
Пластины, колончатые мишени, дуговые катоды, изготовление по индивидуальному заказу |
|
Процесс производства |
Вакуумная плавка, порошковая металлургия (PM) |
|
Доступные размеры |
Длина ≤ 200 мм, ширина ≤ 200 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Мишень для распыления сплава AlTa (алюминий-тантал), высокочистное тонкоплёночное PVD‑покрытие |
По запросу |
JoomShopping Download & Support