Специализированный 5-головочный аппарат для радиочастотного плазменного магнетронного распыления способен наносить комбинированное покрытие из пяти элементов на 16 образцов различного состава, что делает его особенно подходящим для поиска высокоэффективных материалов с твердотельными электролитами, магнитных сплавов и мультиферроичных материалов.
Технические характеристики
Устройство для радиочастотного магнетронного распыления с 5 головками особенно подходит для исследования материалов с твердым электролитом, объединенных 5 различными элементами в 16 различных соотношениях.Это оборудование в основном используется для создания оксидной пленки на монокристаллической подложке, поэтому нет необходимости в условиях высокого вакуума.
Технические параметры
|
Характеристики |
5 магнетронных распылителей для нанесения на 5 различных целевых материалов В зависимости от используемых источников питания (RF или DC) можно наносить как металлические, так и неметаллические материалы. Способно распылять 5 целевых материалов для получения различных композиций с различным временем / скоростью распыления С дополнительными 5 блоками питания одновременно можно распылять 5 целевых материалов для комбинированного распыления 16 образцов могут быть нанесены одной партией с помощью маски и вращающегося держателя для образцов |
|
Входная мощность |
Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц 1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды) |
|
Источник питания |
В комплект поставки входит один радиочастотный генератор с частотой 13,5 МГц и мощностью 300 Вт, который подключается к распылительным головкам Поворотный переключатель позволяет активировать одновременно одну распылительную головку. Распылительные головки можно переключать “в плазме” без нарушения вакуума во время многослойного процесса. В качестве опции предлагается несколько источников радиочастотного питания, что позволяет пользователю одновременно распылять несколько мишеней для комбинированного распыления За дополнительную плату предоставляется ноутбук с управляющим программным обеспечением для контроля времени и мощности распыления каждого радиочастотного пистолета |
|
Магнетронная напыляющая головка |
В комплект поставки входят пять 1-дюймовых магнетронных напыляющих головок с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстрых зажимов На фланце встроен один затвор с ручным управлением Для охлаждения распылительных головок в комплект входит один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением 10 Л/мин |
|
Распыляющая мишень |
Требования к размеру мишени: 1 "диаметр × макс. Диапазон расстояний распыления: 50-80 мм регулируется Диапазон углов распыления: 0-25 ° регулируется Мишень Cu диаметром 1 дюйм и мишень Al2O3 включены в комплект для демонстрационного тестирования |
|
Вакуумная камера
|
Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали 304 с усиливающим ребром Размер внутренней вакуумной камеры: 470 мм L × 445 мм D × 522 мм H (~ 105 литров, 18,5 “×17,5"× 20,5") Круглый диаметр 380 мм. распашная дверь со стеклянным окном диаметром 150 мм Диапазон температур: от -15 до 150 °C Уровень вакуума: 4.0E-5 торр с турбонасосом |
|
Держатель образца
|
Поворотный держатель образца диаметром 150 мм для нанесения покрытия из 16 образцов в одной партии различными составами Вращением держателя образца и маски можно управлять вручную с помощью кнопки или автоматически с помощью управляющего программного обеспечения (опция) Температура держателя образца регулируется от RT до 600 °C макс. |
|
Вакуумный насос |
Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу. В комплект поставки входит компактный турбонасос 4.0E-5 Torr с дополнительным турбонасосом |
|
Масса нетто |
60 кг |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Customized 5 heads RF plasma magnetron sputtering coater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support