Оборудование для нанесения композитных покрытий методом магнетронного распыления/вакуумного испарения сочетает в себе технологию магнетронного распыления и технологию вакуумного испарения в одном оборудовании для нанесения покрытий.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения композитных покрытий методом магнетронного распыления/ вакуумного испарения сочетает в себе технологию магнетронного распыления и технологию вакуумного испарения в одном оборудовании для нанесения покрытий. В этом устройстве для распыления атомов мишени используется тлеющий разряд с катодом магнетронного распыления, который частично ионизирует и осаждает их на подложке с образованием пленки, и в то же время материал металлического покрытия может быть расплавлен в вакууме методом контактного нагрева и испарен, а затем нанесен на подложку с образованием пленки. Это повышает полезность и гибкость устройства. Оборудование используется для металлизации пластиковых поверхностей, таких как корпуса мобильных телефонов, и нанесения непроводящей пленки и электромагнитной экранирующей пленки.
Оборудование для нанесения композитных покрытий методом магнетронного распыления/ вакуумного испарения оснащено устройством плазменной обработки, высокоэффективным катодом магнетронного распыления, устройством резистивного испарения и т.д. Скорость нанесения этого устройства высокая, адгезия покрытия хорошая, слой покрытия тонкий и плотный, чистота поверхности высокая, однородность и консистенция хорошие; машина обеспечивает полностью автоматический контроль процесса нанесения покрытия, большую нагрузку, надежную работу, высокий уровень квалификации, низкую себестоимость продукции и экологическую защиту окружающей среды.
Применение оборудования для нанесения композитных покрытий методом магнетронного распыления / вакуумного испарения
Устройство широко используется в корпусах компьютеров, мобильных телефонов, бытовой техники и других отраслях промышленности и может быть покрыто металлической пленкой, пленкой из сплава, слоем композитной пленки, прозрачной (просвечивающей) пленкой, непроводящей пленкой, электромагнитной экранирующей пленкой и тому подобным.
Технические характеристики
|
Модель продукта |
Оборудование для нанесения композитных покрытий методом магнетронного распыления /вакуумного испарения CY-MSE300S-DC |
||
|
Стадия отбора проб |
Размер |
Φ185 мм |
|
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Скорость вращения |
Регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
||
|
Ток распыления |
2 ~ 20 мА |
||
|
Напряжение распыления |
1000 В |
||
|
Источник испарения |
Корзина из вольфрамовой проволоки |
||
|
Максимальная температура |
1700℃ |
||
|
Точный контроль температуры |
Можно установить 30-сегментную программу подъема и понижения температуры |
||
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ300mm × 300mm |
|
|
Окно наблюдения |
φ100mm |
||
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь |
||
|
Способ вскрытия |
Верхняя часть открыта |
||
|
Контроль толщины пленки |
Компоненты контроля |
Источник питания |
5 В постоянного тока (±10%), максимальный ток 400 мА |
|
Частотное разрешение |
±0.03 Гц |
||
|
Разрешение толщины пленки |
0,0136Å (алюминий) |
||
|
Точность толщины пленки |
± 0,5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности |
||
|
Скорость измерения |
100 мс-1 с / раз, настраивается |
||
|
Диапазон измерений |
500000Å (алюминий) |
||
|
Стандартный сенсорный кристалл |
6 МГц |
||
|
Компьютерный интерфейс |
Последовательный интерфейс RS-232/485 (скорость передачи 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 может быть установлена, бит данных: 8, стоп-бит: 1, проверка: отсутствует) |
||
|
Аналоговый выход |
разрешение 8 бит, выход с широтно-импульсной модуляцией PWM (открытый коллектор или внутренний выход 5 В) |
||
|
Рабочая среда |
Температура 0-50 ℃, относительная влажность 5%-85%, отсутствие капель конденсата |
||
|
Дисплей |
Потребляемая мощность |
AC 220V ± 10% |
|
|
Выходная мощность |
DC 5V 3A |
||
|
Дисплей |
цифровая трубка 12 × 2 и светодиод |
||
|
Коммуникационный порт |
RS-485 (скорость передачи данных 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 может быть установлена, бит данных: 8 бит, стоп-бит: 1 бит, четность: отсутствует) |
||
|
Зонды |
Применимая частота вращения пластин |
6 МГц |
|
|
Применимый размер пластины |
Φ14 мм |
||
|
Монтажный фланец |
CF35 |
||
|
Труба охлаждающей воды |
Φ3 мм, длина 00 мм, 500 мм, 1000 мм |
||
|
Давление охлаждающей воды |
<0,3 МПа |
||
|
Пневматическая перегородочная труба |
Φ3 Мм |
||
|
Температура выпечки |
Состояние подачи воды <200 ℃, фланец в безводном состоянии <100 ℃ |
||
|
Электрический интерфейс |
Розетка BCN |
||
|
Массовый расходомер |
2 канала; диапазон измерения 100 см; 100 см (может быть настроен в соответствии с потребностями заказчика) |
||
|
Вакуумная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
|
|
Интерфейс перекачки |
KF40 |
||
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
||
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
||
|
Подпорный насос |
Роторно-лопастной насос |
||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр |
||
|
Максимальный вакуум |
1.0E-5Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток; 220 В 50/60 Гц |
||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600 л / с, роторно-лопастной насос: 1,1 л / С, высокая производительность откачки: вакуум может достигать 1,0 E-3Pa за 20 минут. |
||
|
Дополнительные принадлежности |
Различные мишени, такие как золото, индий, серебро и платина |
||
|
Гарантия |
Гарантия один год, пожизненная техническая поддержка. |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSE300S-DC |
По запросу |
JoomShopping Download & Support