Машина для нанесения композитных покрытий с двойной мишенью магнетронным распылением и термическим испарением

Машина для нанесения покрытий "два в одном" с магнетронным напылением и термическим испарением CY-MSE325S-2TA1S может использоваться для нанесения покрытий на электронные изделия, образцы стекла, керамики, металла и другие образцы, особенно подходит для пробоподготовки лабораторного СЭМ (сканирующего электронного микроскопа).

Технические характеристики

Машина для нанесения покрытий CY-MSE325S-2TA1S с магнетронным распылением и термическим испарением "два в одном" может использоваться для нанесения покрытий на электронные изделия, образцы стекла, керамики, металла и другие образцы, особенно подходит для пробоподготовки лабораторного SEM (сканирующего электронного микроскопа).

Оборудование в основном состоит из вакуумной камеры из нержавеющей стали, мишени для магнетронного распыления, источника испарения, стола для образцов с вращающимся нагревом, вакуумного насоса, вакуумметрического датчика, системы забора воздуха и системы управления.

Особенности оборудования для нанесения покрытий PVD

Управление с сенсорным экраном, обнаружение измерителя контроля температуры. Интерфейс цифровых параметров и автоматический режим работы предоставляют пользователям отличную платформу для исследований и разработок;

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали 304 со смотровым окном и перегородкой. Красивая форма, тонкая работа, отличные вакуумные характеристики. Основным уплотнительным фланцем является высоковакуумный уплотнительный фланец серии CF. Каждый интерфейс вакуумной камеры герметизирован резиновым уплотнительным кольцом, которое обладает отличными вакуумными характеристиками и может эффективно обеспечивать качество покрытия;

1. Мишень расположена на дне полости, а мишень направлена вверх. Стол для образцов имеет функцию нагрева и вращения, что может сделать эффект покрытия более равномерным;

В системе сбора вакуума используется двухступенчатая группа вакуумных насосов. Вспомогательный насос представляет собой механический насос с высокой скоростью откачки, который может эффективно сократить время перехода от атмосферного давления к низкому вакууму. Основным насосом является турбинный молекулярный насос, который имеет высокую скорость откачки и более высокую скорость сбора вакуума. Общая система сбора вакуума является чистой и быстрой.

Технические параметры