Это оборудование представляет собой настольную установку для нанесения покрытий магнетронным распылением с одной мишенью. Оборудование было уменьшено в размерах и спроектировано таким образом, чтобы его внешний вид соответствовал уровню настольного компьютера, что значительно снижает требования к месту установки.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой настольную машину для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью. Машина для нанесения магнетронного напыления была миниатюризирована и спроектирована таким образом, чтобы внешний вид оборудования соответствовал уровню рабочего стола, что значительно снижает требования к месту установки. Оборудование оснащено источником питания постоянного тока, который может использоваться для распыления металлических материалов и обладает характеристиками высокой скорости и низкого повышения температуры. Вся вакуумная камера имеет конструкцию нижней мишени, которая обладает хорошим эффектом распыления и меньшим загрязнением примесями, что позволяет максимально защитить образец.
Технические параметры
|
CY-MSP180S-DC-GU |
||||
|
Стадия отбора проб |
размер |
φ100mm |
Нагрев |
Макс. 500℃ |
|
Скорость вращения |
0-20 регулируемых |
Способ установки |
Площадка для отбора проб находится под верхней крышкой камеры, и образец устанавливается в виде зажима |
|
|
Мишень для магнетронного напыления |
Количество |
Нижнее крепление 2 ”x2 с нижним фланцем камеры |
||
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
Φ180mm x 215mm |
Обзорное окно |
Передняя часть φ60 мм |
|
Материал камеры |
SS304 |
Способ вскрытия |
Верхняя крышка открыта |
|
|
Вакуумная система |
Механический насос |
Роторно-лопастной насос |
Интерфейс откачки |
KF16 |
|
Молекулярный насос |
Турбомолекулярный насос |
Интерфейс откачки |
KF40 |
|
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления + ионизационный датчик |
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
|
|
Максимальный вакуум |
1.0E-4Pa |
Источник питания |
AC 220V 50/60 Гц |
|
|
Скорость откачки |
Механический насос: 1,1 л/с, Молекулярный насос: 60 л/с |
|||
|
Конфигурация мощности |
Количество |
Источник питания постоянного тока x1 |
Максимальная выходная мощность |
Источник питания постоянного тока 300 Вт |
|
Другое |
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
Размеры |
550 мм x 350 мм x 400 мм |
|
Общая мощность |
2 кВт |
|||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP180S-DC-GU |
По запросу |
JoomShopping Download & Support