Двухцелевой магнетронный распылитель с переходной камерой

Название продукта

Двухцелевой магнетронный распылитель с переходной камерой

Модель продукта

CY-MSP325G-2T-DVC-2DC(двойная вакуумная камера).,,,,,,,,,,,,,,,,,

Условия установки

1. Температура рабочей среды 25 ℃ ± 15 ℃, влажность 55% Rh ± 10% Rh;

2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен;

3. Номинальная мощность: 5000 Вт;

4. Газ для оборудования: камеру оборудования необходимо заполнить аргоном для очистки, и заказчику необходимо подготовить аргон чистотой ≥99,99%;

5. Размер площадки составляет 1200 мм × 1200 мм × 2000 мм;

6. Место установки требует хорошей вентиляции и отвода тепла.

Технические параметры

1. Источник питания для распыления: источник питания постоянного тока 500 Вт x2; максимальное выходное напряжение 600 В, предельный выходной ток 1000 мА

2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая сбалансированная мишень с магнитной соединительной перегородкой;

3. Применимый материал мишени для магнетронной мишени: проводящий металлический материал мишени толщиной φ50 мм x 3 мм.

4. Размер полости: основная полость φ325 мм x 410 мм; переходная полость 150x150x150 мм

5. Назначение камеры: Основная камера оснащена боковой дверцей, закрывающейся уплотнительным кольцом, кварцевым смотровым окном с перегородкой и штангой ручного управления для переноса образцов. Переходная камера оснащена верхней крышкой с кварцевым окошком, герметизируемым уплотнительным кольцом, магнитным соединительным толкателем для транспортировки образцов в основную камеру и независимой вакуумной системой.

6. Материал полости: нержавеющая сталь 304

7. Вращающийся нагревательный стол для образцов: скорость плавно регулируется от 1 до 20 об / мин; температура нагрева достигает 500 ° C, рекомендуемая скорость нагрева составляет 10 ° C / мин, а максимальная температура - 20 ° C /мин.

8. Метод охлаждения: Магнетронная мишень и молекулярный насос нуждаются в охладителе циркулирующей воды;

9. Охладитель воды: объем резервуара для воды 9л, расход 10Л / мин

10. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа AR газ, расход 1 ~ 200 куб. см (настраиваемый);

11. Точность расходомера: диапазон ± 1,5%

12. Интерфейс нагнетания вакуумной камеры CF160;

13. Интерфейс впуска воздуха представляет собой соединение с двойным наконечником диаметром 1/4 дюйма;

14. Дисплей представляет собой 14 промышленных компьютеров "все в одном";

15. Ток распыления можно регулировать, а также устанавливать безопасное значение тока распыления и безопасного значения вакуума;

16. Защита безопасности: Ток распыления автоматически отключается при слишком низком токе и вакууме;

17. Вакуумная система: основная камера оснащена высоковакуумным молекулярным насосом CY-GZK103 со скоростью откачки 600 л/с; переходная камера оснащена небольшим молекулярным насосом со скоростью откачки 60 л/с. Два комплекта вакуумных систем могут работать и управляться независимо, а пневматические клапаны между камерами и в вакуумной системе управляются программами, которые могут выполнять действия по одной клавише, что удобно и быстро.

18. Максимальный вакуум: 5E-4Pa (с молекулярным насосом);

19. Измерение вакуума производится составным вакуумметром, и его диапазон составляет: 10-5 па ~ 105 па

Меры предосторожности

1. Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумная камера должна быть очищена инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.

2. Магнетронное распыление более чувствительно к объему всасываемого воздуха, и для контроля объема всасываемого воздуха необходимо использовать массовый расходомер.

3. Держите полость в вакууме, когда оборудование не используется.

4. Если изделие долгое время не подвергалось вакуумированию, при повторном использовании его следует дегазировать для улучшения характеристик вакуумирования.

Дополнительные принадлежности

Контроль толщины пленки

1. Разрешение толщины пленки: 0,0136 Å (алюминий)

2. Точность измерения толщины пленки: ± 0,5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности

3. Скорость измерения: 100 мс-1 с / раз, диапазон измерения может быть установлен: 500000Å (алюминий)

4. Стандартный кристалл датчика: 6 МГц

5. Применимая частота чипа: 6 МГц Применимый размер чипа: Φ14 мм Монтажный фланец: CF35

Другие аксессуары

1. Комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па);

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па)

Двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4;

2. Вакуумный сильфон KF25 / 40; длина может составлять 0,5 м, 1 м, 1,5 м; зажимной кронштейн KF25

3. Кварцевый генератор измерителя толщины пленки;

Модель

Стоимость, доллары США

CY-MSP325G-2T-DVC-2DC

По запросу