Движущиеся катоды магнетрона обеспечивают высокоэффективное распыление мишеней большой площади, поскольку магнитная решетка сканирует заднюю часть мишени с помощью серводвигателя или поворотного привода.
Технические характеристики
- Высокая эффективность эрозии мишени: 60%;
- Совместимость с RF и DC;
- Широкий диапазон доступных мишеней: 200 мм2;
- Встроенная опорная пластина для канала охлаждения обеспечивает высокую эффективность охлаждения;
- Управление магнитным блоком с помощью серводвигателя;
- Встроенный блок подачи газа.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CMC-M |
По запросу |
JoomShopping Download & Support