Вертикальная печь Ultra Fn

Позволяет перерабатывать пластины толщиной 300 мм в больших количествах. Платформа оборудования может использоваться в высокопроизводительном производстве полупроводников методом LPCVD, окисления, отжига и ALD.

Технические характеристики

• Обладает высокой производительностью, надежностью и стабильностью, благодаря высокоточной технологии контроля температуры, хорошей однородности и контролю мелких частиц для поддержания превосходного качества пленки;
• Достигает высоких производственных мощностей за счет усовершенствованной конструкции с более высокой производительностью и сокращает время простоя и технического обслуживания;
• Использует газ для сухой очистки камер, чтобы удалить мелкие частицы загрязнений;
• В зоне загрузки используется технология контроля низкого содержания кислорода для подавления естественного окисления поверхности пластины;
• Количество пластин, которые можно загрузить за один раз, составляет 50-125 штук пластин;
• Может быть оснащен системой быстрого контроля температуры;
• Система химической чистки полости на месте.