Печь высокотемпературного отжига (2200)

Технические характеристики

Особенности оборудования:

• Адаптация к различным спецификациям и размерам технологических пластин: небольшие квадратные пластины, пластины неправильной формы, а также пластины диаметром 2, 4 и 6 дюймов.
• Оптимизированная конструкция, небольшая занимаемая площадь.
• Гибкая и разнообразная настройка процесса
• Простота в эксплуатации, использовании и обслуживании.
• Чрезвычайно высокие показатели точности и надежности.

 Сопровождающие технологии:

• Адаптация к различным спецификациям и размерам технологических пластин: небольшие квадратные пластины, пластины неправильной формы, а также пластины диаметром 2, 4 и 6 дюймов.
• Температура процесса может достигать 2200 ℃ (корпус печи может достигать более высоких температур)
• Мелкосерийные исследования и разработки — 5 шт./печь, тип производства — 50 шт./печь.
• Нормальное давление/контроль давления, предел <10–3 мбар, технологическое давление: 1–250 мбар.