Окислительно-диффузионная линия

Технические характеристики

Введение в систему:

• Полностью автоматизированное производственное оборудование
• Автоматическая загрузка и разгрузка.
• Беспилотная обработка материалов и автоматическая доставка ленточным конвейером.
• Полная стыковка заводской системы MES, стандартная система связи в соответствии с SECSⅡ/HSMS/GEM и другими стандартами.

 Системное приложение:

• Полупроводниковая 4-8-дюймовая горизонтальная окислительно-диффузионная линия, автоматизированная производственная линия оборудования LPCVD.
• Линия автоматизации оборудования для производства функциональных/магнитных материалов.
• Автоматическая линия по производству оборудования для солнечных батарей