Технические характеристики
Подходит для изготовления металлических тонкопленочных электродов диаметром 4-6 дюймов
- Автоматическая вращающаяся и поднимающаяся ступень для отбора проб: более равномерная
- Автоматическое управление рецептурой: может управляться удаленно.
- Оперативная очистка плазмой: улучшение адгезии
При использовании безмасляных сухих насосов первой линии и молекулярных насосных установок для создания чистого вакуумного давления 10-3 Па время вакуумирования обычно составляет менее 30 минут.
Высококачественный источник питания для магнетронного распыления постоянной мощности используется для обеспечения постоянной скорости нанесения покрытия. Он также оснащен автоматической вращающейся подъемной ступенью для отбора проб, которую можно смещать, а для очистки и активации подложки можно использовать источник плазмы. Он особенно подходит для изготовления металлических тонкопленочных электродов толщиной 4-6 дюймов, с помощью которых можно добиться хорошей толщины пленки, однородности рабочих характеристик и отличной адгезии пленки.
Он прост в эксплуатации, а меню ПК с сенсорным экраном может быть отредактировано программным обеспечением процесса для реализации автоматического управления. Подключи и играй. Нет необходимости в дополнительной охлаждающей воде, нет необходимости в сильном электричестве напряжением 380 В, нет необходимости в сжатом воздухе. Оборудование компактное, бесшумное и занимает небольшую площадь.
Технические параметры
|
Основная цель |
Металлический тонкопленочный электрод |
|
Комплект вакуумных насосов |
Стандартный бесшумный масляный насос двигателя постоянного тока + комплект молекулярных насосов / дополнительный Сухой насос |
|
Установленная насосом скорость откачки |
механический насос >8 м 3/ч + молекулярный насос 250 л/с |
|
Абсолютный вакуум |
<3,0E-4 Па |
|
Рабочее давление воздуха |
Типичное значение: 0,3-1Па |
|
Свободное время |
<15 мин (<3,0E-3 Па, чистая Полость) |
|
Измерение вакуума |
Диапазон измерения атмосферного давления до 10E-5 Па, импортный фирменный композитный вакуумметр |
|
Газовый контроль |
Двусторонний регулятор массового расхода газа MFC (50 или 100 SCCM Ar/N2) |
|
Размер камеры |
~ Ø 300 *180 мм |
|
Магнетронный целевой источник |
Размер мишени Ø 50.8*0.1-5 мм / 3шт (дополнительный Размер мишени Ø 76.2 *0.1-5 мм / 2шт) Может достигать одноцелевого распыления / совместного распыления с двумя целями / попеременного распыления Благодаря независимой перегородке он может распылять драгоценные металлы Au / Pt и т.д.， Или металлические Al, Cr, Ag, Ti и другие металлы (с использованием Ar-газа) |
|
Источник питания для распыления |
Источник питания магнетронного распыления постоянного тока постоянной мощности Макс. 300 Вт (опционально отечественных или импортных брендов) Источник питания для распыления постоянного тока со смещением 0-400 В (опция) |
|
Стадия выборки |
6-дюймовый стенд для отбора проб. Система использует многоосевую систему управления серводвигателем + магнитное уплотнение жидкости + сильфонный модуль, который может осуществлять автоматический подъем ступени отбора проб (диапазон регулировки не менее 40 мм) и вращение ступени отбора проб (скорость регулируется в диапазоне 0-60 об /мин). |
|
Плазменная очистка |
Дополнительный источник радиочастотной плазменной очистки (50 Вт) |
|
Промышленный режим управления |
Предоставьте программное обеспечение для редактирования меню клиентского процесса.Может быть реализовано гибкое редактирование меню процесса (модульное редактирование меню процесса может выполняться в программном обеспечении для редактирования процесса) + режим автоматического выполнения меню процесса (загрузка меню процесса, поддержка автоматического или удаленного сетевого управления нанесением покрытия) |
|
Способ работы |
Управление сенсорным экраном /удаленное сетевое управление компьютером |
|
Вес/размер |
~ 400 кг / ширина 600 мм * глубина 1400 мм * высота 1000 мм |
|
Входная мощность |
Трехконтактный штекер с заземлением 220 В переменного тока, 50/60 Гц |
|
Потребляемая входная мощность |
< 3000 Ватт |
|
Способ охлаждения |
Стандартный охладитель воды |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DSC2000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support