Совместимое с различными размерами оборудование для обезжелезивания плазмы Virgo

Технические характеристики

Серия Virgo - это оборудование для плазменной дегуммировки, независимо разработанное компанией Jiyi Technology. Эта серия в основном используется для нанесения фоторезиста / удаления остатков клея и обработки поверхности. 3”/4”/6”/8”/12” пластина.

Область применения:

Полупроводник на основе кремния

Эксплуатационные характеристики:

Дистанционная плазма с индуктивной связью, высокая плотность, низкий урон.

Разнообразие конфигурации газовой перегородки, превосходная однородность дегуммирования.

Дополнительная атмосферная трансмиссия или вакуумная трансмиссия, эффективная система трансмиссии с двумя рычагами.

Самостоятельно разработанная визуальная операционная система, простая в освоении и эксплуатации

Простота обслуживания, высокая производственная мощность, низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Размер пластины: 3/4/6/8/12 дюйма

Применимые материалы: фоторезист, PI

Применимая технология: Дегуммирование, Дегуммирование (низкая температура), обработка поверхности.

Подходящий субстрат: Si, GaAs, GaN, SiC, LiTaO3, LiNbO3