JETKepler 2200B-Модификация поверхности

Технические характеристики

JETKepler - это монолитная платформа для плазменного оборудования, независимо разработанная компанией Jiyi Technology. Он в основном используется при травлении пластин и высокотемпературном плазменном окислении поверхности и азотировании. JETKepler отличается превосходной равномерностью температуры, высокой производительностью и более длительным временем наработки на отказ, а также более низкими затратами на владение и эксплуатацию.

Область применения:

300 мм IC

Эксплуатационные характеристики:

Направленная обработка поверхности: окисление / азотирование / восстановление / увеличение плотности пленки / удаление остатков травления / уменьшение IC Rs

Плазменная система с низким уровнем повреждения

Превосходная однородность температуры

Более высокая производительность, более длительный период наработки на отказ

Снижение затрат на владение и эксплуатацию

Более длительное приготовление/ CoC

Размер пластины: 12 дюймов

Пленка подложки: Si, SiN, SiO2, TiN, W…

Применение: Окисление, Азотирование, восстановление DRAM; NAND; Логическая микросхема и т.д.