Настольная система MINI ALD

Широко используется в полупроводниках, нанокатализаторах, подготовке оптических тонких пленок, аэрокосмической отрасли, кадмиевых солнечных элементах и ​​т. д.

Категория: ALD оборудование.

Технические характеристики

MINI — это сверхмалая, простая в эксплуатации и мощная настольная система атомно-слоевого осаждения. Она позволяет добиться равномерного и контролируемого осаждения атомных слоев на 4 -дюймовые пластины и микронанопорошки и имеет широкий спектр применения.

Система имеет запатентованный цилиндр для образцов порошка и держатель пластин, полностью автоматический контроль температуры, цилиндр источника прекурсора ALD, автоматический клапан контроля температуры и систему безопасности промышленного уровня. Это лучший инструмент для исследований и разработок для исследования и применения современных энергетических материалов и технологий. новые наноматериалы.

Преимущества продукта:

• Компактный, тихий и удобный;
• 4 комплекта быстродействующих прекурсоров;
• Полностью автоматический интерфейс человеко-машинного управления;
• Загрузка выдвижного типа, взаимодействие человека с компьютером просто и удобно.

Результаты теста.