Универсальная система физического осаждения из паровой фазы Polaris Series 8/12 дюйма

Технические характеристики

Система PVD серии Polaris в основном состоит из атмосферной платформы, платформы вакуумной передачи, камеры дегазации (дегазации), камеры предварительной очистки и технологической камеры. Оборудование имеет структуру кластерного инструмента и может быть сконфигурировано с несколькими технологическими камерами, камеры предварительной очистки и камера дегазации подходят для крупномасштабного производства пленки в упаковочной сфере. Серия PVD Polaris представляет собой полностью автоматическое оборудование высокой производительности с такими функциями, как автоматическое открытие и закрытие крышки реакционной камеры, автоматический перенос пластин, технологическая дегазация, предварительная очистка поверхности пластин и полностью автоматизированное осаждение тонких пленок.

Функции.

• Конструкция профессионального источника магнетронного распыления и конструкция камеры эффективно повышают коэффициент использования целевого материала.
• Гибкая конфигурация камеры, совместимая с 8/12 дюймами.
• Стабильная система передачи, совместимая со стеклянным листом, деформированным листом, склеивающим листом и другими типами подложек.
• Стабильная и низкая производительность Rc, хорошая способность контролировать частицы и напряжение
• Оптимизированный технологический процесс обеспечивает высокую производительность производственных мощностей и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: совместимость с 8/12 дюймами.

Применимые материалы: медь, титан, нитрид титана, тантал, нитрид тантала, вольфраматат титана, золото, алюминий и т.д.

Применимый процесс: напыление металла UBM и повторная проводка в усовершенствованной упаковке на уровне пластин.

Применимая область применения: усовершенствованная упаковка, микродисплей на основе кремния.