Машина магнетронного напыления LSMS 160

Машина для нанесения магнетронного напыления LSMS-160 представляет собой прибор для испытаний технологических процессов, используемый в области материаловедения и используемый для различных однослойных пленок, многослойных пленок и систем легированных пленок. Он может покрывать различные твердые пленки, металлические пленки, сплавы, соединения, полупроводники, керамические пленки, диэлектрические композитные пленки и другие пленки химических реакций, а также ферромагнитные материалы. В основном его используют в лабораториях для изготовления металлических электродов и диэлектрических слоев органических оптоэлектронных устройств, а также для приготовления слоев каталитических пленок для выращивания наноматериалов. Распыление может быть широко использовано для нанесения на поверхность образцов тонких пленок толщиной несколько микрон и менее, а также позволяет получать различные металлы, полупроводники, ферромагнитные материалы, а также диэлектрические оксиды, керамику и другие вещества.

Технические характеристики

• Назначение: методом напыления наносят на поверхность образца тонкие пленки толщиной несколько микрон и менее, из которых можно получать различные металлы, полупроводники, ферромагнитные материалы, а также изолирующие оксиды, керамику и другие вещества.
• Основные характеристики: 6 мишеней можно распылять последовательно; 2 мишени можно распылять одновременно; диапазон распыления может быть в пределах 4 дюймов; степень вакуума 8×10 -8 Торр, погрешность однородности толщины <±5%. Распыление составляет менее нескольких микрон.
• Применимый размер пластины: размер образца не может превышать 6 дюймов;
• Распыляемые материалы: металлы Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, Pt, Ag, Ti, Ta; сплавы NiFe, CoFe, CoFeB, NiMn, FeMn, TbFeCo; оксиды MgO и др.

Фактический тестовый пример.

Напыление применяется для нанесения на поверхность образца тонких пленок толщиной несколько микрон и менее, из которых можно получать различные металлы, полупроводники, ферромагнитные материалы, а также изолирующие оксиды, керамику и другие вещества.