Система ионного привода

Технические характеристики

Специально разработанная система импульсного питания и логическая система управления объединяют параметры различных сценариев применения технологического процесса, обеспечивают стабильный и надежный привод и всестороннее и гибкое управление работой источника ионов, поддерживают автоматический режим запуска одной кнопкой и ручной режим проектирования, а также могут достичь наилучших рабочих характеристик источника ионов в самых сложных технологических условиях.

Реализуйте гибкую и регулируемую работу ионного пучка: поддерживайте независимое и гибкое управление током ионного пучка и энергией ионов, что отличается от неконтролируемого и нерегулируемого ионного пучка традиционного источника ионов накаливания, а также отличается от архитектуры закрытой системы зарубежных продуктов. 

Регуляторы расхода газа

Функции

1. Модульная конструкция, высокая степень интеграции, запуск одной кнопкой, интерфейс управления светодиодным сенсорным экраном, сочетание ручного и автоматического управления.
2. Встроенный многоканальный расходомер газа и высокопроизводительная согласующая сетевая система, несколько режимов интерфейса, с защитой от перегрузки по току.
3. Превосходная стабильность процесса благодаря усовершенствованным алгоритмам управления лучом
4. Используйте инверторную технологию для облегчения работы нейтрализатора.
5. Превосходная долговечность благодаря усовершенствованной схеме обработки неисправностей
6. Настраиваемые настройки управления для достижения индивидуальной персонализированной работы.