Оборудование для приготовления графена PECVD в рулонах в рулонах

Технические характеристики и базовые конфигурации

Название продукта

Рулон к рулону PEVCD

Модель продукта

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

Источник плазмы мощностью 1000 Вт

● Выходная мощность: 50-1000 Вт, Максимальная регулируемая ± 1%
● Частота ВЧ: 13,56 МГц, стабильность ± 0,005%
● дБ:≤55 дБ
● Режим охлаждения :принудительное воздушное охлаждение
● Входная мощность: 1 кВт переменного тока 220 В

Система управления трехпротонным расходомером tem

● Напряжение:220 В/ 50 Гц
● Мощность:23 Вт
● Управление с помощью сенсорного экрана ПЛК
● Размер смесительного бака:φ80 * 120 мм
● Рабочая температура:5 ~ 45℃
● Максимальное давление: 3x106 Па
● Точность: ± 1,5% FS
● Линейный: ±(0,5-1,5% F.S.
● Точность повторения: ± 0,2% F.S.
● Диапазон расхода :
● Первый путь: 1 ~ 50 мксм (Калибровка по метану)
Второй путь: 1 ~ 200 МКСМ (Калибровка по водороду
). ● Третий путь: 1~200 куб. см / мин （Аргон калибровки）
другие варианты доступны для газа типа калибровки в соответствии с требованиями заказчика

Вакуумный измерительный прибор

● Модель:PCG-800
● Диапазон индикации:
Точность от 3,8E-5 до 1125torr,,,
● 5×10-4 ... 1×10-3 мбар (N2), % от показаний ± 50
● 1 × 10-3 ... 100 мбар (N2), % от показаний ± 15
● 100 ... 950 мбар, % от показаний ± 5
● 950 ... 1050 мбар, % от показаний ± 2,5

Установка низкого вакуума

● Оно состоит из механического насоса с двойным вращением, двухслойного вертикального фильтра масляного тумана (материал PE), вакуумметра сопротивления и соединительного патрубка 

● Скорость всасывания вакуумным насосом≥4,4 л / с
● Предельная степень вакуума 10-1Па
● Диапазон измерения вакуумметра 10-1Па-105 Па

Устройства для уплотнения медной фольги от рулона к рулону

·           ● Механизм намотки и разматывания медной фольги от рулона к рулону используется для ввода и извлечения медной фольги из материала, а скорость перемещения медной фольги регулируется в диапазоне 1-400 мм / мин.
● Настройка рулона тестовой медной фольги

● Механизм намотки и разматывания размещен в вакуумной камере на обоих концах трубчатой печи, чтобы гарантировать, что медная фольга может перемещаться в герметичных условиях выращивания и обеспечивать крупномасштабную подготовку
  ● Между механизмом намотки и трубчатой печью установлено охлаждающее устройство для быстрого охлаждения медной фольги.

Размер продукта

Около 2400 * 800 * 1250 мм

Вес продукта

Около 720 кг

Сертификат качества

Сертификация CE для электрических компонентов необязательна

Гарантийный срок

Особое примечание:

1. Расходные материалы, такие как нагревательный элемент, кварцевая трубка, тигель для отбора проб и т.д., в комплект поставки не входят.

2. Гарантия не распространяется на повреждения, вызванные коррозийными и кислыми газами.

Модель

Стоимость, доллары США

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

По запросу