Технические характеристики
Магнетронная система распыления 100— это система разработанная компанией для университетов и научно-исследовательских институтов. Она предназначена для выращивания сверхпроводящих пленок, магнитных пленок, оптических и декоративных покрытий, твердых пленок для литиевых батарей, органической электроники (OLED и OPV), перовскитовых пленок для фотоэлектрических и электронных устройств, пленок для процессов отслаивания и других. Система использует полностью модульные магнетронные источники, которые легко демонтируются для замены или ремонта. В комплект входят полный набор насосного оборудования, вакуумных приборов, распределительный шкаф, электрощит и системы безопасности. Управление может осуществляться вручную или через компьютер. Система имеет универсальные интерфейсы и множество расширений для удовлетворения требований по осаждению пленок.
Технические характеристики
- Подходит для выращивания нанометровых однослойных и многослойных пленок;
- Высокая скорость осаждения, низкая температура подложки, хорошая адгезия пленки, возможно нанесение на большие площади;
- Совместимость с системами ультравысокого вакуума для интеграции.
Технические параметры
|
Магнетронная система распыления 100 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
400 мм I.D. |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<8×10-9мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 700 л/с + механический насос 10 л /с |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона + пленочный датчик + датчик Pirana |
||
|
Ионный насос /TSP /NEG |
Необязательный |
||
|
Держатель образца |
Максимальный размер выборки |
6 дюймов |
|
|
Способ нагрева подложки |
Нагревание SiC |
||
|
Температура нагревателя подложки |
1000℃ |
||
|
Максимальная скорость вращения подложки |
30 Об/мин |
||
|
Целевая группа для распыления |
Количество орудий-мишеней |
6 шт. |
|
|
Размер мишени для пистолета |
2 дюйма |
||
|
Конфигурация питания |
Постоянный ТОК (500 Вт)/RF (1000 Вт) |
||
|
Целевая головка |
Регулируемый угол и положение |
||
|
Способ забора воздуха |
Вход на целевую поверхность |
||
|
Независимая перегородка магнетрона |
Пневматический привод |
||
|
Массовый расходомер |
Четырехсторонний /50 см |
||
|
Компоненты |
QCM |
Стандартная конфигурация |
|
|
Источник ионов |
Необязательный |
||
|
РГА |
Необязательный |
||
|
Комната для быстрых инъекций |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10Л /с |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
3 станции |
|
|
Стержень для передачи образца |
CF35/600 мм |
||
|
Интеграция аппаратного и программного обеспечения |
Управляющее программное обеспечение |
Стандартная конфигурация |
|
|
Инфракрасный термометр |
Стандартная конфигурация |
||
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Стандартная конфигурация |
||
|
Тележка-насос |
Необязательный |
||
|
Плазменная очистка |
Необязательный |
||
|
ПЗС -камера |
Необязательный |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Магнетронная система распыления 100 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support