Технические параметры
|
Материалы для нанесения |
Металл: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Ni |
|
Размер подложки |
Макс. 400 мм x 400 мм |
|
Выход продукта |
22 пластины/запуск при 4 дюймах, 9 пластин/запуск при 6 дюймах, 3 пластины/запуск при 8 дюймах |
|
Вращение подложки |
От 0 до 20 об/мин |
|
Количество лодок |
От 1 до 6 шт. |
|
Тепловая мощность |
От 1,5 до 3 кВт |
|
Регулятор толщины |
Одиночный кварцевый датчик и контроллер |
|
Предельное давление |
< 5,0E-7 Торр (криогенный насос или TMP) |
|
Опция |
Совместное испарение нагрев подложки |
|
Контроль |
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) |
|
Размеры (Ш*Д*В) |
1600 мм x 1450 мм x 2060 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Тепловой испаритель EasyDEP-7 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support