Технические параметры
|
Материалы для нанесения |
Металл: Ag, Al, Au, Cu, Sn, Ti, Ni |
|
Размер подложки |
Макс. 8 дюймов |
|
Выход продукта |
3 пластины на партию (4-дюймовая пластина) |
|
Вращение подложки |
От 0 до 20 об/мин |
|
Держатель подложки |
[Опция] — нагрев, наклон, охлаждение и вращение |
|
Количество лодок |
От 1 до 4 шт. |
|
Тепловая мощность |
От 1,5 до 3 кВт |
|
Регулятор толщины |
Одиночный кварцевый датчик и контроллер |
|
Предельное давление |
< 5,0E-7 Торр (криогенный насос или TMP) |
|
Опция |
Совместное испарение |
|
Контроль |
Ручное управление |
|
Размеры (Ш*Д*В) |
650 мм x 1280 мм x 1900 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Тепловой испаритель EasyDEP-3M |
По запросу |
JoomShopping Download & Support